下载成像设备、分液冷却装置及其布局方法的技术资料

文档序号:26997135

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本发明提供一种成像设备、分液冷却装置及其布局方法。该分液冷却装置包括:进液组件,包括主进液管道、多个连接件以及副进液管道,多个所述连接件连通所述主进液管道与所述副进液管道;多个所述连接件沿所述主进液管道的延伸方向非均匀分布;回液组件,所述回...
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