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一种感性耦合反应器包括:反应腔主体;位于所述反应腔主体上方的感性耦合等离子体源;所述感性耦合等离子体源包括:第一反应介质室;位于第一反应介质室上方的第二反应介质室,所述第二反应介质室的底部和所述第一反应介质室的顶部中间区域贯通,所述第二反应...该专利属于上海邦芯半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海邦芯半导体设备有限公司授权不得商用。
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