温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种节水清洗装置，用于水平式湿制程设备，包括至少一槽室，每个槽室包括操作槽及设备槽，两槽空间彼此独立但设有连通的通孔，设备槽设有过滤单元，操作槽设有清洗单元，泵浦设有进水管连接过滤单元，出水管连接清洗单元，清洗水于设备槽内由泵浦抽出后送至操...
该专利属于黄信航所有，仅供学习研究参考，未经过黄信航授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。