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具有埋入式折射率引导型电流限制层的垂直腔面发射器件制造技术
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下载具有埋入式折射率引导型电流限制层的垂直腔面发射器件的技术资料
文档序号:26977532
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一种垂直腔面发射器器件(例如,VCSEL或RC‑LED)含有埋入式折射率引导型电流限制孔层,所述限制孔层生长并被光刻处理以限定内部孔的位置、形状和尺寸。在再生工艺中,所述孔被第三接触层的单晶材料填充。所述孔提供用于电流限制和光限制,同时允许...
该专利属于加利福尼亚大学董事会所有,仅供学习研究参考,未经过加利福尼亚大学董事会授权不得商用。
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