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本发明属于太阳能电池领域，具体涉及一种GaAs/Si复合衬底结构的制备方法及其复合衬底和太阳能电池，对GaAs衬底的一个表面进行处理，使其形成多个锯齿，并在锯齿的表面蒸镀金属催化剂层；在刻蚀溶液中，将所述GaAs衬底带有锯齿的一面压印到硅衬...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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