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本发明涉及晶体硅太阳能电池制备技术,尤其涉及一种PERC太阳电池的制备方法。它包括以下步骤:S1、硅片清洗制绒;S2、磷扩散;S3、去磷硅玻璃和背面刻蚀;S4、沉积背面钝化层;S5、沉积正面氮化硅膜;S6、背面电极印刷及烘干;S7、背面铝浆...该专利属于宁波尤利卡太阳能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波尤利卡太阳能股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及晶体硅太阳能电池制备技术,尤其涉及一种PERC太阳电池的制备方法。它包括以下步骤:S1、硅片清洗制绒;S2、磷扩散;S3、去磷硅玻璃和背面刻蚀;S4、沉积背面钝化层;S5、沉积正面氮化硅膜;S6、背面电极印刷及烘干;S7、背面铝浆...