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一种半导体级氨水及硫酸回收循环制造方法，将半导体工业产生的大量废酸液及硫酸铵回收处理导入一混合炉加热，以产生混合气体及混合液体，再制得高纯度氨水及高纯度硫酸，供半导体工业使用。该混合气体包括氨气及水气经纯化后，产生高浓度的纯氨气，再用超纯水...
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