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本实用新型提供一种用于收纳硅片的装置,应用于分选机,包括:底座,所述底座上至其第一边向第二边所在方向形成有取片口,所述第一边与所述第二边与进片方向平行;第一护板,所述第一护板设于所述底座的第二边;第二护板,所述第二护板设于所述底座的第三边,...该专利属于晶海洋半导体材料(东海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶海洋半导体材料(东海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种用于收纳硅片的装置,应用于分选机,包括:底座,所述底座上至其第一边向第二边所在方向形成有取片口,所述第一边与所述第二边与进片方向平行;第一护板,所述第一护板设于所述底座的第二边;第二护板,所述第二护板设于所述底座的第三边,...