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一种DUT散射光的分光装置制造方法及图纸
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下载一种DUT散射光的分光装置的技术资料
文档序号:2694599
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本实用新型公开了一种DUT散射光的分光装置,包括第一滤波膜片和第二滤波膜片,其位置关系为:第一滤波膜片把到达的从DUT散射的光信号(S0)分离为透射光信号(S2)和反射光信号(S21);第二滤波膜片把到达的所述透射光信号(S2)分离为具有第...
该专利属于聚光科技(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚光科技(杭州)有限公司授权不得商用。
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