下载一种多晶硅尾气吸附装置的技术资料

文档序号:26932360

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本实用新型公开了一种多晶硅尾气吸附装置,包括容器本体,容器本体的底部中心安装连接有进气管,容器本体的顶部中心安装有出气管,容器本体的内腔安装有支撑结构,支撑结构包括斜向支撑板和竖向支撑板,容器本体的下端安装有指形管结构。本实用新型解决了以前...
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