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本实用新型公开了一种含液硅渣过滤装置，包括主过滤器和与主过滤器导通连接的残液过滤器；主过滤器用于通入并过滤氯硅烷残液，过滤得到第一残渣，主过滤器上开设有第一出口，用于排出过滤得到的第一滤液；主过滤器能够反冲洗第一残渣到残液过滤器内，残液过滤...
该专利属于四川永祥多晶硅有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥多晶硅有限公司授权不得商用。

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