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一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法技术方案
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下载一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法的技术资料
文档序号:26923112
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本发明公开了一种SC切型石英晶片在线研磨测频系统的跟踪测频方法,包括双频率跟踪功能、单频率跟踪功能、测频参数初始化、扫频参数设置和两个功能之间的切换功能;本发明提供了一种处理效率高、数据精度高,双模频率精准区分的一种SC切型石英晶片在线研磨...
该专利属于浙江大学台州研究院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学台州研究院授权不得商用。
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