下载衍射光学元件的技术资料

文档序号:2692126

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本发明提供一种衍射光学元件及其制造方法。所述衍射光学元件包括一个基片,所述基片一面具有第一光栅结构,所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽,所述基片的另一面具有第二光栅结构,所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽。衍射光学元件的第一刻槽和第...
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