下载高导热氮化硅陶瓷基板及其制备方法的技术资料

文档序号:26920199

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本发明公开了一种高导热氮化硅陶瓷基板及其制备方法,属于陶瓷基板材料技术领域。该方法包括将氮化硅粉、烧结助剂、炭黑、磷酸三乙酯和溶剂,一次球磨混合;加入粘结剂和增塑剂后二次球磨,得到浆料;真空脱泡处理后用流延成型制得薄片状素坯;真空排胶后进行...
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