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本发明涉及激光加工设备、激光加工方法和设置激光加工设备的方法。本发明的目的是能容易地调整焦点位置以处理热透镜效应。提供了激光扫描部分，该激光扫描部分包括能够调整激光在光轴方向上的焦点位置的Ｚ轴扫描器、Ｘ轴扫描器和Ｙ轴扫描器。而且，提供了激光...
该专利属于株式会社其恩斯所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社其恩斯授权不得商用。

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