下载一种具有缝隙进出口结构的新型精密背压阀的技术资料

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本实用新型公开了一种具有缝隙进出口结构的新型精密背压阀,涉及背压阀领域,包括自上向下相连接的阀盖和阀体,所述阀盖和阀体之间连接有膜片;阀盖顶部开设先导气孔,先导气孔通过阀盖内部开设的气源通道连通至阀盖底部开设的供膜片中部起伏运动的活动槽,形...
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