温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种连续型聚酰亚胺薄膜电晕退火装置,涉及聚酰亚胺薄膜技术领域,具体地说就是一种连续型聚酰亚胺薄膜电晕退火装置,包括退火炉箱体、废气排出管、电加热管、导向辊、放卷辊、电晕箱体、电晕导向辊和收卷辊,所述退火炉箱体内部设有耐高温炉膛,所述耐高温炉...该专利属于万达集团股份有限公司;山东万达微电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过万达集团股份有限公司;山东万达微电子材料有限公司授权不得商用。