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本实用新型提供的一种晶硅晶圆抛光用工装；包括支撑座、旋转台、板桥和锁紧装置；支撑座位于抛光机上，与抛光机工作台相配合；旋转台位于支撑座的一侧，与支撑座连接，在支撑座上自由转动；板桥位于旋转台的一侧，与旋转台固定连接，跟随旋转台转动；锁紧装置...
该专利属于苏州市兆恒众力精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市兆恒众力精密机械有限公司授权不得商用。

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