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本发明公开了一种混合集成谐振腔激光器及其制备方法,其中,激光器包括SOI衬底、以及位于SOI衬底上的有源区和无源区,有源区包括多量子阱区,多量子阱区与位于其左右两侧的P型InP和N型InP构成侧向P‑I‑N结构;无源区包括波导、波导光栅和锥...该专利属于武汉敏芯半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉敏芯半导体股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种混合集成谐振腔激光器及其制备方法,其中,激光器包括SOI衬底、以及位于SOI衬底上的有源区和无源区,有源区包括多量子阱区,多量子阱区与位于其左右两侧的P型InP和N型InP构成侧向P‑I‑N结构;无源区包括波导、波导光栅和锥...