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本发明公开了一种适用于紫外光探测的氮化物共振隧穿二极管结构，解决常规氮化物共振隧穿二极管结构不适用于厚光吸收层，不能进行高量子效率的紫外光探测的问题。本发明将双势垒共振隧穿结构内置于p型掺杂氮化物外延层/本征氮化物外延层/n型掺杂氮化物外延...
该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

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