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一种减少气体团簇离子束加工设备中微粒污染的装置，即产生气体团簇离子束的限定设备，包括：第一构件为孔板，孔板上设有1个在远离工件的方向上从第一构件孔板突出的第二构件；所述第二构件是筒形或锥筒形，该孔板上孔将至少一部分气体团簇离子束传输至被处理...
该专利属于江苏集创原子团簇科技研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集创原子团簇科技研究院有限公司授权不得商用。

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