下载贴合基板的制造方法以及基板贴合装置的技术资料

文档序号:26889759

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本发明中,从贴合装置搬出贴合基板而不使其弯曲。贴合基板的制造方法包括:贴合工序,使相对的下载台(23A)和上载台(23B)接近,且通过密封剂(110)贴合第一基板(14A)和第二基板(14B)以形成贴合基板(15);贴合基板分离工序,维持由...
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