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贴合基板的制造方法以及基板贴合装置制造方法及图纸
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文档序号:26889759
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本发明中,从贴合装置搬出贴合基板而不使其弯曲。贴合基板的制造方法包括:贴合工序,使相对的下载台(23A)和上载台(23B)接近,且通过密封剂(110)贴合第一基板(14A)和第二基板(14B)以形成贴合基板(15);贴合基板分离工序,维持由...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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