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惯性传感器、电子设备以及移动体制造技术
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文档序号:26889326
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本发明公开了一种惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有基板、绕摆动轴摆动的可动体以及配置于基板的电极。可动体具有隔着摆动轴设置的第一可动部以及第二可动部,第一可动部具有相对于摆动轴与第二可动部对称的对称部以及位于比对称部距离摆动轴更...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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