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本发明提供一种激光干涉仪，包括激光发生器、调整装置、第一分光镜、第一角锥反射镜、第二角锥反射镜、第二分光镜、压缩透镜、接收器、检测装置；第一分光镜为偏振分光镜包括基层和膜系，膜系结构包括三个膜堆均由非四分之一波长光学厚度的高折射率膜层和低折...
该专利属于苏州众为光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州众为光电有限公司授权不得商用。

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