下载一种便于拆装和调节的单晶硅片的烘干架的技术资料

文档序号:26886080

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本发明涉及单晶硅片技术领域,且公开了一种便于拆装和调节的单晶硅片的烘干架,包括数量为两个的支撑架,两个所述支撑架之间固定安装有安装筒,所述支撑架内腔的顶壁和底壁均固定安装有轴座,两个所述轴座之间活动安装有双向螺纹杆,所述支撑架内腔的左右侧壁...
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