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本发明公开了一种高寿命低变形率石英坩埚及其制备方法，包括石英坩埚本体和陶瓷涂层；所述陶瓷涂层包括氧化硅涂层、硼化锆涂层和氮化硅涂层，且沿石英坩埚本体内壁方向依次涂覆；所述氧化硅涂层为纳米氧化硅液体；所述硼化锆涂层包括硼化锆和纳米氧化硅液体；...
该专利属于无锡市尚领石英科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市尚领石英科技有限公司授权不得商用。

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