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本发明涉及一种钛基稀土合金薄膜吸气剂靶材及其制备方法，该钛基稀土合金薄膜吸气剂靶材的合金配方包括：钛基二元合金配方TiREx(wt％)、钛基三元合金配方TiRE1xRE2y(wt％)、钛基四元合金配方TiRE1xRE2yRE3z(wt％)、...
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