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本发明公开了一种多晶硅还原工艺尾气的净化方法及净化系统，该方法包括以下步骤：将多晶硅还原工艺尾气与氧化剂氯气混合，多晶硅还原工艺尾气包括氢气、氯硅烷、磷烷、硼烷，其中，磷烷、硼烷与氯气反应，磷烷、硼烷分别被氧化，生成单质磷和/或磷的氯化物、...
该专利属于新特能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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