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ＣＣＤ显微成像的光纤及光纤器件几何量检测仪，在显微物镜的上方装有能作五维调节的部件，被测件用装夹部件夹紧后，装在能作五维调节的部件中；在显微物镜的下方依次装有同轴光耦合镜、ＣＣＤ面阵；同轴光耦合镜的一侧装有光源准直镜及光源；在显微物镜与能作...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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