下载一种硅片承载转运结构的技术资料

文档序号:26876051

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本实用新型提供了一种硅片承载转运结构,包括水箱、硅片弹夹;所述水箱为顶部开口的槽体结构,两侧设有第一排水块和第二排水块;所述第一排水块顶部设有凹槽;所述第一排水块和第二排水块之间设有用于放置硅片弹夹的弹夹托架;所述硅片弹夹用于承载硅片,进入...
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