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一种硅片承载转运结构制造技术
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文档序号:26876051
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本实用新型提供了一种硅片承载转运结构,包括水箱、硅片弹夹;所述水箱为顶部开口的槽体结构,两侧设有第一排水块和第二排水块;所述第一排水块顶部设有凹槽;所述第一排水块和第二排水块之间设有用于放置硅片弹夹的弹夹托架;所述硅片弹夹用于承载硅片,进入...
该专利属于天津环博科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津环博科技有限责任公司授权不得商用。
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