下载一种平整度可调的承载平台及检测装置的技术资料

文档序号:26872780

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本实用新型涉及基板检测技术领域,尤其涉及一种平整度可调的承载平台及检测装置。其中,平整度可调的承载平台包括支架、多个承载件和与多个承载件一一对应设置的多组调整组件,多个承载件形成用于承载工件的承载面;支架上设置有支撑槽,承载件的一端设置在支...
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