下载一种晶体生长辅助接种系统的技术资料

文档序号:26865892

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本发明申请属于晶体生长设备技术领域,具体公开了一种晶体生长辅助接种系统,包括炉体、传动装置、接种检测装置和控制装置;炉体内部放置有坩埚,传动装置包括电机、籽晶杆,籽晶杆与电机的输出轴同轴连接;接种检测装置包括探针、信号传输线和报警信号灯;探...
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