下载具有可气溶胶化基底材料分配装置的电子蒸气供应系统的技术资料

文档序号:26849794

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一种用于蒸气供应系统的部件,包括:储存器,其用于储存可气溶胶化基底材料,储存器由边界壁限定,边界壁具有至少一个可移动段,该至少一个可移动段构造为移动以减小储存器的储存体积;位于储存器中的出口,用于从储存器分配可气溶胶化基底材料;位于出口处的...
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