下载新型MRAM中铜互联上底电极的制备方法的技术资料

文档序号:26848081

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本发明提供一种新型MRAM中铜互联上底电极的制备方法,包括:提供一基底,所述基底包括依次堆叠设置的金属互联层、第一阻挡层以及介电层,在所述第一阻挡层及介电层中形成有底部通孔,所述底部通孔与所述金属互联层相连;在所述基底表面依次沉积第二阻挡层...
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