下载MRAM底电极的制备方法的技术资料

文档序号:26848079

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本发明提供一种MRAM底电极的制备方法,包括:提供一基底,所述基底依次包括金属互联层、第一阻挡层以及介电层,在所述第一阻挡层及介电层中形成有底部通孔,并在所述基底表面依次覆盖有第二阻挡层和导电金属层,所述导电金属层填充满所述底部通孔;对所述...
该专利属于中电海康集团有限公司;浙江驰拓科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中电海康集团有限公司;浙江驰拓科技有限公司授权不得商用。

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