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本发明涉及一种悬臂梁热电堆及其制备方法。其包括热电堆单体，所述热电堆单体包括衬底以及红外敏感体结构；红外敏感体结构包括器件支撑层、热绝缘层、吸收层以及包裹于热绝缘层与吸收层内的热偶，所述热偶包括若干交替排布的N型热电材料体以及P型热电材料体...
该专利属于江苏创芯海微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏创芯海微科技有限公司授权不得商用。

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