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一种基于GaN的横向结势垒肖特基二极管及其制备方法技术
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下载一种基于GaN的横向结势垒肖特基二极管及其制备方法的技术资料
文档序号:26848021
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本发明涉及一种基于GaN横向结势垒肖特基二极管及其制备方法,此势垒肖特基二极管包括:从下至上依次层叠设置的衬底层、成核层、缓冲层、插入层、势垒层和钝化层;P注入区,设置于缓冲层、插入层和势垒层内,位于缓冲层、插入层和势垒层的一端,P注入区包...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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