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本发明提供用于集成电路三棱柱网格剖分的混合阶有限元方法及装置：收集并设置集成电路版图多边形的层信息，将多边形投影到同一层并进行初始网格剖分；简化与对齐集成电路版图多边形，从xy方向对集成电路版图多边形进行三角形网格剖分和自适应细分；将三角形...
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