下载一种激光合束整形匀化扫描装置的技术资料

文档序号:26844577

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本发明涉及光电检测设备技术领域,具体是一种激光合束整形匀化扫描装置,包括主激光器、光束整形均化架与底座,光束整形均化架由整形均化箱、连接箱、进光罩和移动板组成,连接箱的底部通过螺栓连接在整形均化箱的顶部外壁,连接箱的内壁一侧焊接有连接杆,连...
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