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本发明提供一种在Z切铌酸锂薄膜上制作Y传脊型光波导的方法，制作Y传脊型光波导的方法包括：在铌酸锂单晶薄膜+Z面的波导区形成掩膜；轻质子交换，非波导区在+Z面实现质子交换，波导区在非波导区与波导区的边界处实现X面质子交换；其中，质子源为苯甲酸...
该专利属于派尼尔科技(天津)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过派尼尔科技(天津)有限公司授权不得商用。

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