下载一种透射电镜高分辨原位悬空式温差加压芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:26844046

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本发明涉及一种透射电镜高分辨原位悬空式温差加压芯片及其制备方法,其中芯片包括双面覆盖有绝缘层的基片,该基片的中部具有一中心视窗,该中心视窗悬空设置,且该中心视窗上还覆盖有一支撑层;该中心视窗内的支撑层上具有呈左右对称设置的两加热丝以及呈上下...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。

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