下载一种超材料吸收器与气体选择性吸附膜集成用于气体传感的方法及传感器的技术资料

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一种超材料吸收器与气体选择性吸附膜集成用于气体传感的方法及传感器,其是在气体传感器的气腔中设置超材料吸收器与气体选择性吸附膜集成结构,超材料吸收器由下至上包括衬底、金属层、介质层以及周期性纳米金属结构,所述气体选择性吸附膜制作在周期性纳米金...
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