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近场反射型显微技术处理方法及显微镜技术
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文档序号:2684334
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本发明为光探针的近场扫描反射型显微技术的处理方法,特别是采用注以高相干电磁波如激光的波导,其特征为波导的端头设在离被测表面近处,使得波导的主传播模式和被测表面的反射的并由波导传回的波的电场传播模式之间的耦合系数随端头接近被测表面而呈现一种大...
该专利属于斯皮拉尔研究发展公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯皮拉尔研究发展公司授权不得商用。
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