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高性能复制光栅制造技术
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文档序号:2684305
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本发明是一种复制光栅元件的塑性压延塑造方法,此元件广泛地用于光谱、激光技术,电磁波导等技术应用的领域中。由于本方法能够取消在传统光栅复制工艺中必须使用的有机聚合物材料,从而提高了复制光栅的性能,能胜任制造困难、造价昂贵且又不能大批制造的原刻...
该专利属于石晓鹏所有,仅供学习研究参考,未经过石晓鹏授权不得商用。
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