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基于溶液浓度在线估计的晶体生长过程控制方法技术
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文档序号:26841231
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本发明涉及基于溶液浓度在线估计的晶体生长过程控制方法,属于生产过程控制领域。晶体生长系统包括生长装置、控制装置和基于视觉的尺寸检测装置。载晶架顺时针旋转、停止、逆时针旋转、停止,循环运行。载晶架旋转停止时通过视觉系统在线检测生长晶体的尺寸,...
该专利属于江南大学所有,仅供学习研究参考,未经过江南大学授权不得商用。
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