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本发明涉及一种基于PLC在金刚石生长系统中的控制方法，包括：PLC控制器根据流程启动信号控制和真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行抽气控制流程；PLC控制器根据真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行工艺控制流程以进入金刚石生长流程；在金刚...
该专利属于山西云矽电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西云矽电子科技有限公司授权不得商用。

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