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一种制造薄膜致动反射镜阵列的方法，包括有以下步骤：提供一具有一连接端子阵列的有源矩阵；在各连接端子的顶上形成一接触构件；在有源矩阵的顶上形成一薄膜待除层；在薄膜待除层的顶上形成一致动机构阵列，其中各致动机构有第一薄膜电极、薄膜电致位移构件、...
该专利属于大宇电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大宇电子株式会社授权不得商用。

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