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本实用新型公开了一种深紫外双光束激光系统,涉及激光系统技术领域。包括激光器、二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔、合束片和五倍频晶体;所述激光器射出1064nm激光形成第一光路,所述第一光路上依次设置有二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离...该专利属于浙江富春江环保科技研究有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江富春江环保科技研究有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种深紫外双光束激光系统,涉及激光系统技术领域。包括激光器、二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔、合束片和五倍频晶体;所述激光器射出1064nm激光形成第一光路,所述第一光路上依次设置有二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离...