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微型液芯集成光波导结构及其制造方法技术
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文档序号:2681127
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微型液芯集成光波导结构及其制造方法主要包括:平面衬底、液芯光波导线,液芯光波导线主要包括:上层包层、下层包层、液体光波导介质和中空微通道,平面衬底上设置液芯光波导线,在下层包层和上层包层之间设有中空微通道,中空微通道内为液体光波导介质。具体...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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