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文档序号:2680930
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在具有一个固定电极板23、衬底10、与衬底10经挠性部分21形成一体的可移动电极板20以及形成在可移动电极板20的上面并通过可移动电极板20的静电驱动执行光的切换控制的反射镜的光开关中,输出光纤34和输入光纤35分别沿两条平行直线分布,反射...
该专利属于日本航空电子工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本航空电子工业株式会社授权不得商用。
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